QR系列区熔单晶硅炉
■ 高稳定性的上下轴传动机构
■ 高可靠性的上 下轴密封机构
■ 高稳定性的高频振荡电源
产品描述
QR系列区熔炉是我公司自主开发的专用于拉制区熔单晶硅棒的设备，是- -种综合了机械、电力、电子、真空等多个专业的具有高技术含量的自动化设备。我公司已申请并授权了二项发明专利，十二
项实用新型专利。该设备能够完全替代进口区熔炉设备。
QR系列区熔炉的操作自动化程度高、检测功能完善、保护功能齐全，参数调整灵活简便，能最大限度的满足各种拉晶工艺的调整。
QR系列区熔炉能够拉制单晶直径为2英寸~8英寸，最大拉单晶长度为1000mm^ 2200mm (等径部分)，并可进行本征、气掺区熔单晶的拉制。
关键词:
拉制
单晶硅
最大
8英寸
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我们是省级民营高科技企业，是专业研制，生产数控精密研磨抛光设备，多线切割设备，气门自动淬火设备，区熔炉、硅芯炉，区熔单晶硅棒及片的高新技术企业。
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